· 卓越品质: 机器人动作与温度曲线完美同步,消除了人为因素干扰,确保每一批次产品工艺的一致性,显著提升良品率。
· 高效产能: 可实现24小时不间断运行,生产节拍固定,大幅提升设备利用率和整体生产效率。
· 灵活可调: 通过 reprogramming 机器人路径和修改温控程序,可快速适应不同规格产品和工艺的切换,柔性极强。
· 数据追溯: 系统可记录并存储每一炉次的全部工艺参数(温度、时间、机器人动作日志),为质量分析和追溯提供数据支撑。
系统构成与核心部件
· 加热系统: 采用优选硅钼棒等加热元件,配合高纯度氧化铝纤维炉膛,可达1700℃的稳定工作温度。
· 温控系统: 配备精密程序温控仪,可设定并精确执行多达数十段的升、保、降温和曲线,确保工艺重复性。
· 安全保障: 集成超温保护、断电保护、机械互锁等多重安全机制。
2. 工业机器人单元
· 机械手臂: 通常选用六轴关节机器人或四轴SCARA机器人,具备高灵活性、高重复定位精度(可达±0.1mm甚至更高)和大范围工作空间。
· 末端执行器: 根据物料特性(如坩埚、匣钵、晶圆等)专门定制,可为您配备夹具、托盘、真空吸盘等。
· 防护措施: 机器人线缆及关键部件可选配耐高温防护罩,以应对炉口区域的热辐射。
3. 自动化上下料平台
· 通常包含来料缓存区、成品输出区和定位台,用于物料的暂存与精确定位,构成完整的物流循环。4. 中央集成控制系统
· 控制核心: 采用PLC 或工业PC 作为主控制器。
· 人机界面: 配备触摸屏,提供直观的操作界面,可一键启停、实时监控设备状态、温度曲线、机器人动作序列等。
· 通信集成: 通过工业总线(如Profinet, EtherCAT)或以太网,无缝集成机器人控制器与温控器,实现全流程协同联动。











